因氦氣的分子非常小，可偵測出非常小之漏點(diǎn)，如果說(shuō)保壓測試是測大漏，氦測漏則是測小漏，在莊達人所著(zhù)的VLSI制造技術(shù)一書(shū)中提到（氣體管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送氣）如此才不會(huì )造成危險。