管道顆粒度檢測

a.測試目的和標準

對高純氣體輸送系統微粒濃度的檢測

b.測試儀器

1cf塵埃粒子計數器（0.1um）

c.測試前準備

(1)在圖紙上標出微粒測試的管路, 并將取樣點(diǎn)和吹掃氣體導入點(diǎn)在圖上標出。

(2)將經(jīng)過(guò)過(guò)濾的純凈氣體接入測試管路中, 調節流量, 確保流量不超過(guò)過(guò)濾器的額定流量。

(3)確保待測系統中的閥門(mén)和調壓閥處在開(kāi)啟位置。

e.測試方法

（1）檢查系統內的氣體流速, 確保系統流量符合微粒測試的最小的速度要求。

(2)使用管徑至少是1/4” 的不銹鋼EP管材和微粒儀相連。選取各系統的最不利的用氣點(diǎn)（即系統內管路最長(cháng)、走向最復雜的用氣點(diǎn)）進(jìn)行測試，或經(jīng)甲方工程主管指定用氣點(diǎn)進(jìn)行抽樣測試。

用塵埃粒子計數器連接氣體管道采樣。儀器布置示意圖如下：

塵埃粒子計數器進(jìn)行在線(xiàn)監測測量，當觀(guān)察到讀數滿(mǎn)足要求并穩定一段時(shí)間之后，即停止測試。塵埃粒子測量在連續十個(gè)周期（1min為一個(gè)周期）合格之后停止測量。

(3)持續抽樣直到系統達到驗收標準。

測試完成

（1）把粒子計數器從系統中移走,然后降低系統的流量。

（2）在測試的完成后應保持系統或組件在正壓下或在吹掃狀態(tài)中。

（3）在微粒測試成功完成之后通知業(yè)主質(zhì)量管理員。

測試失?。航?jīng)過(guò)測試,如果系統達不到驗收標準, 執行以下步驟來(lái)找出并解決問(wèn)題。

（1）檢查入口過(guò)濾器

（2）把粒子計數器直接連接在已過(guò)濾過(guò)的氣源取樣管路中。如果微粒計數儀在20 分鐘內達到零.說(shuō)明過(guò)濾器功能正常, 間歇性吹掃管路系統,重新測量直到系統到達驗收標準。

g.具體測試步驟

PN2（10）、Par（5）、PHe（1）設備接頭共同串聯(lián)，一次完成顆粒測試。

NH3（5）、SiH4（5）、1% PH3/H2（5）、NF3（5）、PH2（5）針對不同的氣體不同管道單獨顆粒測試；