氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質(zhì)譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內來(lái)回地振蕩，并與室內氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。

氦質(zhì)譜儀檢漏應用領(lǐng)域

（1）航空航天高科技工業(yè)

例如火箭發(fā)動(dòng)機及姿態(tài)發(fā)動(dòng)機，過(guò)去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進(jìn)工藝用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發(fā)動(dòng)機質(zhì)量?；鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術(shù)的應用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時(shí)儀器靈敏度低的不足。

（2）電力行業(yè)

SF6高壓開(kāi)關(guān)和氧化鋅避雷器是發(fā)電廠(chǎng)及野外輸變電的重要組成部分，往往因泄漏造成大面積或局部停電，影響工業(yè)生產(chǎn)，又妨礙人們的正常生活。因此帶來(lái)的經(jīng)濟損失有時(shí)是難以估量的。

（3）電子行業(yè)

微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類(lèi)傳感器、心臟起博器。

（4）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)

管道、接頭、閥門(mén)、波紋管、各種真空泵、各類(lèi)排氣機組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加速器、醫用加速器、輻照加速器、鍍膜機、薄膜真空計。

（5）核工業(yè)

鈾分離裝置、存儲裝置、核發(fā)電裝置。